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技术知识

半导体引线键合设备的应用 | 高端运动控制技术引入,实现设备速度与精度的几何级提升

来源:JQRZX |2022-08-07 15:51942

  工艺介绍

  使用高纯金线(Au),铜线(Cu)或铝线(Al)把Pad和Lead通过焊接连接。

  ■Pad芯片上电路的外接点

  ■Lead是Leadframe上面的连接点。

  W/B它是包装过程中最关键的过程。

  课题

  1 在超高加速下,容易产生较大偏差

  因为焊线都是4mm内部的小线段需要很大的加速度才能快速达到目标速度。但一旦加速度过快,焊接容易产生偏差,难以保证产品的产量。

  2 龙门机构运动控制的不稳定性

  龙门机构的运动精度受电机调谐精度、龙门运动同步精度和龙门零重复精度的影响,可能导致最终运动精度不足。

  3 受齿槽力影响,跟随误差

  由于直线电机定子的结构决定,直线电机在运动过程中会受到齿槽力的影响(CoggingTorque)影响,产生周期性变化的跟踪误差。

  4 焊接芯片需要保持恒定的压力

  解决方案

  1 超高速同步控制,实现仅μ等级误差范围

  通过欧姆龙可编程多轴运动控制器CK该系列采用高性能伺服算法和超高扫描周期(16)~32K),提高伺服循环的响应频率,实现纳米级的高精度控制。最后,实现了这一目标。XY轴20g,Z轴160g控制目标,3-4ms稳定至1μm误差范围。

  2 独特的交叉解耦控制,保证龙门机构的运动精度

  通过欧姆龙可编程多轴运动控制器CK系列独特的交叉解耦控制,保证了龙门架在运行中的绝对水平。同时,专门为龙门设计的回零方式也能保证回零后龙门架的绝对水平。

  

  3 使用迭代自学算法,完成对齿槽力的补偿

  一般来说,生成扭矩补偿表可以解决这个问题。但是很难测量齿槽力。因此,我们使用欧姆龙可编程多轴运动控制器CK系列,自带迭代自学算法(IterativeLearningControl),可自动识别齿槽力,从而完成对齿槽力的补偿,将跟随误差的波动降到最低。

  4 利用级联算法实时调节压力

  控制系统

  ■可编程多轴运动控制器CK系列

  实现价值

  XY-Stage性能指标

  ❶XYZ加速度:20g,20g,160g

  ❷稳定时间:2至4ms

  ❸最大跟踪误差:15μm

  龙门机构性能指标

  ❶XYZ加速度:5g,5g,10g

  ❷稳定时间:3-5ms

  ❸最大跟踪误差:10μm

  ❹龙门两轴偏差:4μm

  经营层

  ■为了应对消费者产品需求的多样化和产品生命周期的缩短,通过造性的运动控制技术引入生产现场,实现设备速度和精度的几何提高,建设行业Top竞争力。

  管理层

  ■欧姆龙可编程多轴运动控制器,兼容第三方产品,让客户有更多的选择空间,比如选择更经济的电机和驱动器,可以提高设备的价格优势。

  ■运动机构的定位、检查速度和精度完全基于控制系统和程序的优化,无需改变机械结构和运动时间,导入时间更快,成本更低。

  工程师层

  ■设备速度和精度显著提高,稳定时间为3-4ms,误差控制在1μm,完美保证龙门双驱同步,加速度达到5g。

  ■欧姆龙可编程多轴运动控制器CK系列、内置迭代自学等算法,可直接调用,调试简单,开发周期短。


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